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Óptica Integrada
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Coordenador: Marco Isaías Alayo Chávez
E-mail: malayo@lme.usp.br

Esta linha de pesquisa visa desenvolver trabalhos de simulação, fabricação e caracterização de dispositivos ópticos, baseados nos novos materiais dielétricos obtidos por PECVD e Sputtering estudados pelo grupo. Assim, no momento estudamos : guias de onda convencionais e ARROWs, filtros interferenciais e dispositivos Mach-Zehnder. Além disso, também estudamos a aplicação destes dispositivos na fabricação de sensores ópticos, como: filtros interferenciais sintonizáveis baseados em compostos de silício, sensores termo-ópticos usando interferômetro Mach-Zehnder, portas ópticas digitais baseadas em cantilevers termo-mecânicos e dispositivos ópticos para sensoriamento de gases. Estes dispositivos são fabricados usando a infra-estrutura disponível em nosso laboratório para a fabricação de dispositivos microeletrônicos.

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