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MEMS, Microfluídica e Biosensores
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Coordenador: Marcelo Nelson Páez Carreño
E-mail: carreno@lme.usp.br

Inicialmente objetivo desta linha de pesquisa foi estudar a aplicabilidade de materiais desenvolvidos no próprio grupo (como o a-SiC:H e SiOxNy obtidos por PECVD), na fabricação de estruturas micro-eletro-mecânicas (MEMS). Na atualidade porém, outros materiais vem sendo utilizados e as pesquisas estão focadas em 2 grandes áreas:  RF-MEMS e Microfluídica.

  • RF-MEMS: Os trabalhos com RF-MEMS visam a fabricação e caracterização de dispositivos a ser usados em circuitos reconfiguráveis operando em ondas milimétricas. Para isto, são seguidas duas abordagens: (1) autilizando materiais e processos desenvolvidos em nosso laboratório e (2) utiliando etapas de pós-processamento em dispositivos fabricados com tecnologia CMOS comercial em foundries fora do Brasil. Com isto esperamos adquirir o know-how do projeto, modelamento e testes de RF-MEMS de alto desempenho e, ao mesmo tempo, consolidar nossa capacidade de microfabricação nos processos, técnicas e aplicações que estão al nosso alcanse, no Brasil e no momento. 

    Estas pesquisas vem sendo desenvolvidas no contexto de um projeto de colaboração com pesquisadores do Laboratoire de Microelectronique Electromagnetisme, Photonique, Hyperfrequence et de Caractérisation, IMEP-LAHC, em Grenoble, França.

     

  • Microfluídica e Biosensores: Os trabalhos nesta área se iniciaram com um esforço para estabelecer as técnicas de microfabricação que nos permitissem desenvolver sisteas de microcanais confiáveis (encapsulados, sem basamentos e com acessos para entrada e saída de liquidos. Assim no momento temos dominio das técnicas de "bulk micromaching" em vidro e "soft lithography" em PDMS.  Assim, e como resultado desse esforço, no momento desenovlvemos sistemas microfluídicos para a área de biosensores.

    Estas pesquisas vem sendo desenvolvidas no contexto de colaborações científicas com grupos do Instituto de Oceanográfia (IO), da Instituto de Ciencias Biológicas (ICB), do Depto. de Eng. Hidraulica e Ambiental (PHD-EP) e do Depato. de Eng. Naval (PNV-EP), todos da Universidade de São Paulo, Escola Politécnica, e de empresas de biotecnologia.

     

 

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