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Marco Isaías Alayo Chávez Coordenador
E-mail:
malayo@lme.usp.br
Fone: +55 11 3091-0736
Sala: C2-66
Currículo Lattes: http://lattes.cnpq.br/7881987532843700
Perfil/Atividades

Possui graduação em Engenharia Eletrônica - Universidad Privada Antenor Orrego (1993), mestrado (1996), doutorado (2000) e Pós-doutorado (2004) em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo. Atualmente é Professor Associado da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo. Tem experiência na área de Engenharia Elétrica, com ênfase em Dispositivos ópticos, termo-ópticos e eletro-ópticos baseados em compostos de silício, atuando principalmente nos seguintes temas: óptica integrada, dispositivos ópticos, MOEMS, filmes dielétricos, PECVD e microeletrônica.

Coordenação de Linha de Pesquisa
Disciplinas
Trabalhos relacionados
Teses e dissertações

Tese doutorado: Estudo e Otimização das Propriedades Estruturais, Ópticas e Elétricas de Películas de SiOxNy Depositadas por PECVD para Aplicações em Dispositivos MOS, Microestruturas e Guias de Onda

Data defesa: 02/02/2000
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Dissertação mestrado: Deposição e caracterização de filmes de SiO2 crescidos pela técnica de PECVD a baixa temperatura

Data defesa: 26/06/1996
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Produção Acadêmica
  1. Optimized-geometry ARROW waveguides using TiO2 as anti-resonant layer; Carvalho, D. O.; Albertin, K. F.; Alayo, M. I.; Physica Status Solidi. C, Conferences and Critical Reviews, 7 (2010) 716 - 719
  2. TiOxNy anti-resonant layer ARROW waveguides; Carvalho, D. O.; Albertin, K. F.; Alayo, M. I.; Physica Status Solidi. C, Conferences and Critical Reviews, 7 (2010) 960 - 963
  3. Hollow core ARROW waveguides fabricated with SiOxNy films deposited at low temperatures; Gollub, A. H.; Carvalho, D. O.; Paiva, T. C.; Alayo, M. I.; Physica Status Solidi. C, Conferences and Critical Reviews, 7 (2010) 964 - 967
  4. a-SiC:H anti-resonant layer ARROW waveguides; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.; Journal of Optics. A, Pure and Applied Optics, 10 (2008) 104002
  5. Integration of Optical Waveguides with Micro-Incandescent Light; Rehder, G.; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 354 (2008) 2538 - 2543
  6. Development and Fabrication of an Optimized Thermo-Electro-Optic Device Using a Mach-Zehnder Interferometer; Mina, A. M.; Baez, H.; Martins, G. S. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 354 (2008) 2565 - 2570
  7. Tunable Bragg Filter Using Silicon Compound Films; Martins, G. S. P.; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 354 (2008) 2816 - 2820
  8. MEMS-based incandescent microlamps for integrated optics applications; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Rehder, G; Carreño, M N P; Journal of Optics. A, Pure and Applied Optics, 10 (2008) 104022 - 104022-8
  9. Local Bonding in PECVD-SiOxNy Films; Criado, D.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Fantini, M.C.A.; Pereyra, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 352 (2006) 1298 - 1302
  10. Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications; Criado, D.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Fantini, M.C.A.; Pereyra, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 352 (2006) 2319 - 2323
  11. Deposition and Characterization of Silicon Oxynitride for Integrated Optical Applications; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Criado, D.; Gonçalves, L. C. D.; Pereyra, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 338-40 (2004) 76 - 80
  12. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD; Criado, D.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Fantini, M.C.A.; Materials Science and Engineering. B, Solid State Materials for Advanced Technology, 112 (2004) 123 - 127
  13. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films; Pereyra, I.; Fantini, M.C.A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Oliveira, R. A. R.; Ribeiro, M.; Scopel, W. L.; Materials Science and Engineering. B, Solid State Materials for Advanced Technology, 112 (2004) 116 - 119
  14. Fabrication of PECVD-silicon oxynitride-based optical waveguides; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Criado, D.; Carreño, M. N. P.; Pereyra, I.; Materials Science and Engineering. B, Solid State Materials for Advanced Technology, 112 (2004) 154 - 159
  15. Study of nitrogen-rich Silicon Oxynitride Films Obtained by PECVD; Criado, D.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Materials Characterization, 50 (2003) 167 - 171
  16. Silicon Rich Silicon Oxynitride Films for Photoluminescence Applications; Ribeiro, M.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Thin Solid Films, 426 (2003) 200 - 204
  17. MOS Capacitors with PECVD SiOxNy Insulating Layer; Albertin, K. F.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Materials Characterization, 50 (2003) 149 - 154
  18. Structural Investigation of Si-Rich Amorphous Silicon Oxynitride Films; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Thin Solid Films, 425 (2003) 275 - 281
  19. Silicon Clusters in PECVD Silicon-rich SiOxNy; Oliveira, R. A. R.; Ribeiro, M.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Materials Characterization, 50 (2003) 161 - 166
  20. Local Structure and Bonds of Amorphous Silicon Oxynitride Thin Films; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Thin Solid Films, 413 (2002) 59 - 64
  21. PECVD-SiOxNy Films for Large Area Self-Sustained Grids Applications; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Lopes, A. T.; Sensors and Actuators. A, Physical, 100 (2002) 295 - 300
  22. On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Scopel, W. L.; Fantini, M.C.A.; Thin Solid Films, 402 (2002) 154 - 161
  23. Local Order Structure of a-SiOxNy:H Grown by PECVD; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Brazilian Journal of Physics, 32 (2002) 366 - 368
  24. Chemical and Morphological Properties of Amorphous Silicon Oxynitride Films deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; Scopel, W. L.; Cuzinatto, R. R.; Tabacniks, M. H.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 288 (2001) 88 - 95
  25. Mechanical and Thermophysical Properties of PECVD Oxynitride Films Measured by MEMS; Guimarães, M. S.; Sinatora, A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Carreño, M. N. P.; Thin Solid Films, 398 (2001) 626 - 631
  26. Thick SiOxNy and SiO2 films obtained by PECVD technique at low temperatures; Alayo, M. I.; Pereyra, I.; Carreño, M. N. P.; Thin Solid Films, 332 (1998) 40 - 45
  27. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide; Pereyra, I.; Alayo, M. I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 212 (1997) 225 - 231
  28. Improvement of the Structural Properties of Near Stoichiometric PECVD SiO2; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Brazilian Journal of Physics, 27/A (1997) 146 - 149
  1. Optical humidity Sensor using Polypyrrole (PPy); Alvarado, M. A.; Carvalho, D. O.; Rehder, G.; Gruber, J.; Li, R. W. C.; Alayo, M. I.; In: , 50 (2012) 161 - 166,
  2. Integration of a micro-incadescent lamp and an interferometric filter for optical applications; Baez, H.; Alayo, M. I.; In: Photonics West 2011 - Oxide-based Materials and Devices II, 7940 (2011) 79401I-1 - 79401I-9, San Francisco, California
  3. Pedestal anti-resonant reflecting optical waveguides; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.; In: Photonics West 2011 - Oxide-based Materials and Devices II, 7940 (2011) 794017-1 - 794017-8, San Francisco - California
  4. Development of micro-incandescence light sources on silicon substrate; Gollub, A. H.; Carvalho, D. O.; Rehder, G.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: Photonics West 2010 - Micromachining and Microfabrication Process Technology XV, 7590 (2010) 75900E-1 - 75900E-8, San Francisco, California
  5. AlN anti-resonant layer ARROW waveguides; Pelegrini, M. V.; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: Photonics West 2010 - Optical Components and Materials VII, 7598 (2010) 75981X-1 - 75981X-8, San Francisco, California
  6. Study of TiOx ARROW waveguides with improved geometries; Carvalho, D. O.; Albertin, K. F.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, (2009) , Holanda
  7. Integrated Incandescent Microlamp Coupled to SiOxNy Waveguide; Carvalho, D. O.; Carreño, M. N. P.; Rehder, G.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: SPIE 2009 - MOEMS and Miniaturized Systems VIII, 7208 (2009) 72080U-1 - 72080U-10, San Jose, CA, USA
  8. Hollow core waveguides fabricated with SiOxNy films deposited at low temperature; Gollub, A. H.; Carvalho, D. O.; Paiva, T. C.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, (2009) , Holanda
  9. TiOxNy anti-resonant layer ARROW waveguides; Carvalho, D. O.; Albertin, K. F.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, (2009) , Holanda
  10. Silicon oxynitride-based integrated optical switch; Rehder, G.; Stochero, M.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: SPIE 2009 - MOEMS and Miniaturized Systems VIII, 7208 (2009) 72080F-1 - 72080F-10, San Jose, CA, USA
  11. Towards integration of light sources and optical devices on a silicon substrate; Carvalho, D. O.; Rehder, G.; Mina, A. M.; Martins, G. S. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: XV Congreso Internacional de Ingeniería Eléctrica, Electrónica y Sistemas - INTERCON 2008, (2008) 327 - 336, Trujillo - Peru
  12. Study of ARROW Waveguide Fabrication Process for Improving Scattering Losses; Carvalho, D. O.; Aristizábal, S. L.; Albertin, K. F.; Baez, H.; Alayo, M. I.; In: 6th Ibero-American Congress on Sensors - IBERSENSORS 2008, (2008) 546 - 552, São Paulo
  13. TiO2 Anti-resonant Layer ARROW Waveguide; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.; In: 23rd Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2008, 14 (2008) 511 - 520, Gramado, RS
  14. Puertas Lógicas Termo-Electro-Ópticas; Rehder, G.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: XIX Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (2008) , Aguas de Lindóia, SP
  15. Integrated Optical Switch; Stochero, M.; Rehder, G.; Alayo, M. I.; In: 6th Ibero-American Congress on Sensors - IBERSENSORS 2008, (2008) 491 - 495, São Paulo
  16. Experiência de Ensino no Laboratório de Electrónica II; Carvalho, D. O.; Martino, J.A.; Rehder, G.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: XXXV Congresso Brasileiro de Educação em Engenharia, (2007) 2P05-1 - 2P05-9, Curitiba - Paraná
  17. Polymeric Optical Waveguides Fabricated by Plasma Fluorination Process; Bartoli, J. R.; Giacon, V. M.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Carreño, M. N. P.; In: 6th Ibero-American Meeting on Optics/9th Latin-American Meeting on Optics, Lasers, and Applications (RIAO/OPTILAS), 992 (2007) 786 - 790, Campinas
  18. Simulation, Fabrication and Characterization of a Tunable Bragg Reflector Based on Silicon Oxide and Silicon Nitride Dielectric Films Deposited by PECVD; Martins, G. S. P.; Baez, H.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 22nd Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2007), 9 (2007) 497 - 504, Rio de Janeiro - RJ
  19. ARROW Waveguides Fabricated with SiOxNy and a-SiC:H Films; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 17a Reunião Anual da Sociedade Brasileira de Cristalografia, (2007) , Campinas, SP
  20. Incandescent Microlamps Based on MEMS and PECVD Materials; Rehder, G.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Carreño, M. N. P.; In: 6th Ibero-American Conference on Optics (RIAO); 9th Latin-American Meeting on Optics, Lasers and Applications (OPTILAS), 992 (2007) 743 - 748, Campinas - São Paulo
  21. Electro-Opto-Mechanical Cantilever-Based Logic Gates; Rehder, G.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Baez, H.; Carreño, M. N. P.; In: Photonics West 2007: MOEMS, MEMS, Micro and Nanofabrication, 6466 (2007) 64660C-1 - 64660C-9, San Jose - California
  22. Simple MEMS-based Incandescent Microlamps; Rehder, G.; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: , 27(A) (2007) 105 - 109,
  23. Fabrication of an Electro-Optical Temperature Sensor Based on Silicon Oxynitride Films Deposited by PECVD; Martins, G. S. P.; Mina, A. M.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2006, 4 (2006) 161 - 169, Belo Horizonte
  24. Optical and structural characterization of PECVD-silicon oxynitride films for waveguide device applications; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Carreño, M. N. P.; Criado, D.; Pereyra, I.; In: , 308 (2005) 219 - 222,
  25. Fabrication and characterization of PECVD silicon oxynitride based waveguides; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Criado, D.; Carreño, M. N. P.; Pereyra, I.; In: Photonics West -2004, 5355 (2004) 198 - 205, San Jose - Califórnia
  26. 3D Topography in Self-Sustained Membranes of SiOxNy Obtained by PECVD Technique at Low Temperatures; Lopes, A. T.; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 402 (2002) 154 - 161,
  27. Fabrication of Self-Sustained Membranes using PECVD SiOxNy Films; Lopes, A. T.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Carreño, M. N. P.; Pereyra, I.; In: III Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, SBPMat 2004, (2000) 153 , Foz do Iguaçú
  28. Control of the Refractive Index in PECVD SiOxNy Films; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; In: III Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, SBPMat 2004, (2000) 152 , Foz do Iguaçú
  29. Electro-optical and Structural Characterization of Thin Films Deposited by the PECVD Technique; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Villacorta, C. A.; In: 19th Symposium Microelectronics Technology and Devices, SBMicro, PV2004 (1999) , Porto de Galinhas - Recife
  30. Deposition of Thick SiOxNy and SiO2 Films by PECVD; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Carreño, M. N. P.; In: , 227 (1998) 483 - 487,
  31. Analysis of the Electrical Characteristics of SiO2 Films Deposited by DPECVD; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 266 (1998) 699 - 703,
  32. Influence of Deposition Parameters at the Structural Characteristics of Silicon Dioxide Deposited by PECVD at Low Temperatures; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: 6º Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica, BT/17 (1996) 33 , São Paulo-SP
  33. Silicon Oxynitride deposited by PECVD at low temperatures; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 14 (1995) 281 - 287,
  1. Fabrication and Characterization of a Thermo-Electro-Optic Device Using a Mach-Zehnder Interferometer; Mina, A. M.; Baez, H.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 22), (2007) ThP15.19 , Colorado - USA
  2. Tunable Bragg Filter Using Silicon Oxynitride Films; Martins, G. S. P.; Carvalho, D. O.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 22), (2007) MoP11.7 , Colorado - USA
  3. Integration of Optical Waveguides With Micro-Incadescent Light; Rehder, G.; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 22), (2007) ThO7.1 , Colorado - USA
  4. Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Criado, D.; Pereyra, I.; In: , 79 (2004) 1324 ,
  5. PECVD silicon oxynitride films for application in optical waveguides; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Carreño, M. N. P.; Criado, D.; Pereyra, I.; In: , 30 (2004) 659 - 663,
  6. XANES characterization in PECVD-SiOxNy films; Criado, D.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 201 (2004) 110 - 118,
  7. Evidence of Clusters Size Dependent Photoluminescence on Siicon-Rich Silicon Oxynitride Films; Oliveira, R. A. R.; Ribeiro, M.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: , 346 (2003) 255 - 260,
  8. Nitrogen-rich PECVD SiOxNy Films; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: 20th International Conference on Amorphous and Microcrystalline Semiconductors, (2003) PTh-3 , Campos de Jordão
  9. Deposition and Characterization of Silicon Oxynitride for Integrated Optical Applications; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Criado, D.; Gonçalves, L. C. D.; In: , 30 (2003) 533 - 540,
  10. Structural Analysis of Silicon Oxynitride Films Deposited by PECVD; Criado, D.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Fantini, M. C. A.; In: II Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, (2003) 50 , Rio de Janeiro
  11. PECVD-Silicon Oxynitride Films for Fabrication of Optical Waveguides; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Carreño, M. N. P.; Criado, D.; Pereyra, I.; In: II Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, (2003) 50 , Rio de Janeiro
  12. Silicon rich Silicon Oxynitride Films for Photoluminescence Applications; Ribeiro, M.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: , (2002) ,
  13. Optical waveguides of PECVD Silicon Oxynitride Films; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; In: , 100 (2002) 295 - 300,
  14. Silicon Clusters in PECVD-Silicon rich SiOxNy; Oliveira, R. A. R.; Ribeiro, M.; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: , 38 (2002) 1317 - 1319,
  15. Estudo e Produção de Filmes de Oxinitreto de Silício pela Técnica de PECVD; Criado, D.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: 22th Symposium Microelectronic Technologic Devices SBMicro, 9 (2001) 461 - 470, Rio de janeiro
  16. Local Order Structure of a-SiOxNy: H Grown by PECVD; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 352 (2001) 1438 - 1443,
  17. Analysis and Fabrication of MOS capacitors with PECVD SiOxNy insulating layer, deposited by PECVD; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Albertin, K. F.; In: , 212 (2001) 225 - 231,
  18. Estudo e Fabricação de Capacitores MOS com SiOxNy como Dielétrico de Porta Depositado por PECVD; Albertin, K. F.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 66 (2001) 155 - 162,
  19. Mechanical and Termophysical Properties of PECVD Oxynitride Films by MEMS; Guimarães, M. S.; Sinatora, A.; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 354 (2001) 2646 - 2651,
  20. Caracterização Química e Morfológica de Filmes de SiOxNy:H; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 97-98 (2000) 871 - 874,
  21. ARROW Structures Fabricated with PECVD SiOxNy Films; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Llobera, A.; Salinas, I.; Dominguez, C.; Pereyra, I.; Garcés, N.; Alonso, M. I.; In: IV Congreso Iberoamericano de Sensores, IV Ibersensor, (2000) 35 , Puebla, México
  22. Filmes de SiOxNy para aplicações em Microestruturas e Guias de Onda; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Carreño, M. N. P.; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; In: 20th Symposium On Microelectronics Technology And Devices, 200508 (1999) 61 - 65, Florianópolis - Santa Catarina
  23. Caracterização Química e Morfológica de Filmes SiOxNy Depositados por PECVD; Scopel, W. L.; Fantini, M. C. A.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 50 (1999) 241 - 247,
  24. Thick SiOxNy and SiO2 Films Obtained by PECVD Technique at Low Temperatures; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; Carreño, M. N. P.; In: , 97-98 (1998) 871 - 874,
  25. Improvement of the Structural Properties of Near Stoichiometric PECVD SiO2; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 77 (1997) 144 - 149,
  26. Low Temperature PECVD Silicon Oxide; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: , (1995) 0 - 0,
  27. Óxido de silício obtido por PECVD a baixa temperatura; Pereyra, I.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; In: 6º Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica, BT/17 (1995) 32 , São Paulo - SP
  28. Efeito da condição de Starving Plasma na Obtenção de Filmes de Carbeto de Silício crescidos por PECVD; Carreño, M. N. P.; Alayo, M. I.;Alayo, Marco I.; Pereyra, I.; In: , 283 (1995) 1 - 10,
Orientações em andamento

DOUTORADO

  1. Emerson Gonçalves de Melo
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Modelagem e Simulação de Células Solares Sensibilizadas por Corante Fabricadas com Nanotubos de TiO2 integradas a Cristais Fotônicos
    2013

  2. Maria Elisia Armas Alvarado
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Desenvolvimento de materiais para cristais fotônicos
    2012

  3. Maria Cristina Fischer de Toledo
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Desenvolvimento de um programa de simulação para dispositivos ópticos AWG
    2010

INICIAÇÃO CIENTÍFICA

  1. Ricardo Hitoshi Nakano
    Sistema Sensor para monitoramento da pressão mandibular em pacientes de bruxismo
    2012

Orientações concluídas

MESTRADO

  1. Maria Elisia Armas Alvarado
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Estudo da Aplicabilidade do Polipirrol no Desenvolvimento de um Sensor Óptico de Umidade
    2012

  2. Alexandre Martin Mina
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Desenvolvimento e fabricação de um dispositivo eletro-óptico usando Mach-Zehnder
    2008

  3. Daniel Orquiza de Carvalho
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Estudo e Desenvolvimento de Guias de Onda ARROW, com Camadas Anti-Ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para Aplicação em Dispositivos de Óptica Integrada
    2008

  4. Gustavo da Silva Pires Martins
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Filtros Interferenciais Construídos com Dielétricos Depositados pela Técnica de PECVD
    2008

DOUTORADO

  1. Daniel Orquiza de Carvalho
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Otimização das Etapas de Fabricação de Guias de Onda ARROW para Aplicação no Desenvolvimento de Sensores Ópticos
    2007

  2. Héctor Báez Medina
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais
    2007

  3. Walter Israel Rojas Cabrera
    CO_ORIENTADOR
    Desenvolvimento de um dispositivo eletrodistrator osteogênico alveolar vertical
    2007

OUTRAS ORIENTAÇÕES

  1. Halph Macedo Fraulob
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    MOMID - Monitoramento de Movimento de Idosos
    2012

  2. Daniel Cavallari Gonçalves
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    MOMID - Monitoramento de Movimento de Idosos
    2012

  3. Marcos César Voltolini
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    MOMID - Monitoramento de Movimento de Idosos
    2012

  4. Alexandre Henrique Gollub
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Desenvolvimento e Caracterização de uma Microfonte de Luz Incandescente Integrada a Guias de Onda em Substrato de Silício
    2010

  5. Mirele Stochero
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Otimização de Chaves Opto-Eletro-Mecânicas Atuadas Termicamente
    2008

  6. Thiago Costa de Paiva
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Desenvolvimento e Fabricação de um Veículo Automaticamente Guiado com Sistema Óptico de Detecção de Trajetória
    2007

  7. Thiago Costa de Paiva
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Portas Opto-Eletro-Mecânicas Baseadas em Cantilevers Atuados Eletrostaticamente
    2007

  8. Daniel Diniz Furriel
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Desenvolvimento e Fabricação de um Veículo Automaticamente Guiado com Sistema Óptica de Detecção de Trajetória
    2007

  9. Mure Farias Mendonça
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Fabricação e caracterização de dispositivos ópticos integrados
    2006

  10. Vinícius Valério de Siqueira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Fabricação e caracterização de dispositivos ópticos integrados
    2005

  11. Kleber Iguchi
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Fabricação de dispositivos ópticos integrados
    2004

  12. Barbara Dariano da Silva
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Estudo e desenvolvimento das etapas utilizadas para fabricação de dispositivos de óptica integrada
    2003

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