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Marcelo Nelson Páez Carreño Líder
E-mail:
carreno@lme.usp.br
Fone: +55 11 3091-0723
Sala: C2-66
Currículo Lattes: http://lattes.cnpq.br/4009903826707889
Perfil/Atividades

Bacharel em Física pela Universidade de São Paulo (1985), mestre em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (1988) e doutor em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (1994). Atualmente é Professor Associado (MS5) no Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo. Especialista em obtenção, propriedades e aplicação de materiais obtidos por Plasma CVD (PECVD). Na atualidade atua principalmente no desenvolvimento de Sistemas para Microfluídica, MEMS e MOEMS, Desenvolvimento de Software e Instrumentação Eletrônica e Sensores. 

     Além das atividades junto ao Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD : http://gnmd.lme.usp.br ) também coordena  o Núcleo de Desenvolvimento de Software (NDS : http://www.usp.br/nds ), onde desenvolve soluções para as áreas de pesquisa científica, desenvolvimento tecnológico, ensino e gerenciamento da informação para escolas e universidades. (2013)


 

 

Coordenação de Linha de Pesquisa
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Trabalhos relacionados
Teses e dissertações

Tese doutorado: Filmes de Carbeto de Silício de Alto Gap Óptico Obtidos pela Técnica de PECVD

Data defesa: 22/12/1994

Produção Acadêmica
  1. Simulation of PECVD SiO2 Deposition Using a Cellular Automata Approach; COLOMBO, F. B.; CARRENO, M. N. P.; ECS Transactions, 49 (2012) 297 - 304
  2. A Cellular Automata Based Multi-Process Microfabrication Simulator; COLOMBO, F. B.; Carreño, M.N.P.; JICS. Journal of Integrated Circuits and Systems (Ed. Português), 6 (2011) 87 - 93
  3. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications; OLIVEIRA, ALESSANDRO R.; OLIVEIRA, A.R.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, INÃ S; CARREÃ O, MARCELO N. P.; Physica Status Solidi. C, Current Topics in Solid State Physics (Print), 7 (2010) NA - NA
  4. Integration of optical waveguides with micro-incandescent light; REHDER, G.; ALAYO, M.I.; Carreno, M.N.P.; Journal of Non-Crystalline Solids, 354 (2008) 2538 - 2543
  5. 3D Simulation Software for Visualization of MEMS Microfabrication Processes.; TSUDA, F.; HOKAMA, P. M.; COLOMBO, F. B.; KAYATT, P. M.; KAYATT, P.; SOUZA, D. F.; JANKAUSKAS, R. G.; Carreño, M.N.P.;Carreno, M.N.P.;M.N.P. Carreno;CARREÑO, M.N.P.;CARRENO, M. N. P.; ECS Transactions, 14 (2008) 99 - 108
  6. MEMS-based incandescent microlamps for integrated optics applications; ALAYO, M.I.; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; Journal of Optics. A, Pure and Applied Optics, 10 (2008) 104022
  7. Fabrication of Silicon Microtips with Integrated Electrodes; MIELLI, M.Z.; BARROS, A. de L.; LOPES, A. T.; Carreño, M.N.P.; CARREÑO, M. N. P.; JICS. Journal of Integrated Circuits and Systems, 3 (2008) 97 - 103
  8. PECVD a-SiC:H Young s Modulus Obtained by MEMS Resonant Frequency; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; Journal of Non-Crystalline Solids, 354 (2008) 2359 - 2364
  9. Al Thermal Diffusion in a-Si1-xCx:H Thin Film Studied by XAFS; PRADO, R. J.; FANTINI, M.C.A.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; FLANK, A. M.; AIP Conference Proceedings, 882 (2007) 529 - 531
  10. Amorphous and excimer laser annealed SiC films for TFT fabrication; GARCIA, B; ESTRADA, M; ALBERTIN, K.F.; RESENDIZ, L.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Solid-State Electronics, 50 (2006) 241 - 247
  11. Thermally actuated a-SiC:H MEMS fabricated by a PECVD process; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; Journal of Non-Crystalline Solids, 352 (2006) 1822 - 1828
  12. Post thermal annealing crystallization and reactive ion etching of SiC films produced by PECVD; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; Journal of Non-Crystalline Solids, 352 (2006) 1392 - 1397
  13. Ciliary Motion in PECVD Silicon Carbide Microstructures; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; Revista Mexicana de Fisica, 52 (2006) 48 - 49
  14. N and p-type doping of PECVD a-SiC:H obtained under starving plasma condition with and without hydrogen dilution; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; Materials Science and Engineering. B, Solid State Materials for Advanced Technology, 128 (2006) 44 - 49
  15. Modification of electrode materials for plasma torches; JANKOV, I.R.; SZENTE, R N; GOLDMAN, I.D.; Carreño, M.N.P.; VALLE, M de A; BEHAR, M; COSTA, C A R; GALEMBECK, F.; LANDERS, R; Surface and Coatings Technology, 200 (2005) 254 - 257
  16. Hydrogen effusion from highly-ordered near-stoichiometric a-SiC:H; CAMARGO, S. S.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 338 (2004) 70 - 75
  17. Structural and electrical properties of low-temperature PECVD SiC/c-Si heterostructures; OLIVEIRA, A.R.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Materials Science and Engineering. B, Solid State Materials for Advanced Technology, 112 (2004) 144 - 146
  18. In-situ and Ion Implantation Nitrogen doping on near stoichiometric a-SiC:H films; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; JICS. Journal of Integrated Circuits and Systems, 1 (2004) 26
  19. Membranes of SiOxNy with 3D topography for MEMS application and obtained by PECVD; LOPES, A. T.; Carreño, M.N.P.; Journal of Non-Crystalline Solids, 338 (2004) 788 - 792
  20. Self-Sustained Bridges of a-SiC:H films obtained by PECVD at low temperatures for MEMS applications; Carreño, M.N.P.; LOPES, A. T.; Journal of Non-Crystalline Solids, 338 (2004) 490 - 495
  21. Fabrication of PECVD-silicon oxynitride-based optical waveguides; ALAYO, M.I.; CRIADO, D.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Materials Science & Engineering. B, Solid-State Materials for Advanced Technology, 112 (2004) 154 - 159
  22. Difficulties in Predicting the Surface Concentration of Implanted Ions; Carreño, M.N.P.; JANKOV, I.R.; SZENTE, R N; GALEMBECK, F.; GOLDMAN, I.D.; VALLE, M de A; BEHAR, M; LANDERS, R; Acta Microscópica, 12 (2003)
  23. Preparation and Characterization of Nanocrystalline h-BN prepared by PECVD Method; VILCARROMERO, J.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; CRUZ, N. C.; RANGEL, E.C.; Brazilian Journal of Physics, 32 (2002) 372 - 375
  24. PECVD-SiOxNy Films for Large Area Self-Sustained Grids Applications; Carreño, M.N.P.; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; LOPES, A. T.; Sensors and Actuators. A, Physical, 100 (2002) 295 - 300
  25. Optimization of the i-layer width of Cr-a-Si : H PIN X-ray detectors; ESTRADA, M.; CERDEIRA, A.; LEYVA, A.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Thin Solid Films, 396 (2001) 235 - 239
  26. Wide optical bandgap window layer for Solar Cells; YU, Z.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Solar Energy Materials and Solar Cells, 66 (2001) 155 - 162
  27. Sample Preparation Method for Scanning Force Microcopy; JANKOV, I.R.; SZENTE, R N; GOLDMAN, I.D.; Carreño, M.N.P.; SWART, J.W.; LANDERS, R.; Brazilian Journal of Physics, 31 (2001) 552 - 561
  28. Mechanical and Thermophysical Properties of PECVD Oxynitride Films Measured by MEMS; GUIMARÃES, M. S.; SINATORA, A.; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Thin Solid Films, 398 (2001) 626 - 631
  29. Mechanical properties of boron nitride thin films obtained by rf-pecvd at low temperatures; VILCARROMERO, J.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Thin Solid Films, 373 (2000) 273 - 276
  30. P-type doping in a-Si1-xCx:H obtained by PECVD; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 266 (2000) 699 - 703
  31. Highly ordered amorphous Silicon-Carbon Alloys obtained by rf PECVD; PEREYRA, I.; VILLACORTA, C. A.; Carreño, M.N.P.; PRADO, R. J.; FANTINI, M. C. A.; Brazilian Journal of Physics, 30 (2000) 533 - 540
  32. Observation of Negative Differential Resistance in mc-Si:H/a-Si1-xCx:H Double Barrier Devices; YU, Z.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Japanese Journal of Applied Physics, 38 (1999) 1317 - 1319
  33. Filmes ópticos poliméricos fluorados com índice de refração gradual; BARTOLI, J.R.; Carreño, M.N.P.; MANSANO, R.D.; VERDONCK, Patrick Bernard; COSTA, R A da; Polímeros, Out (1999) 148 - 155
  34. The Influence of staving plasma regime on carbon content and bond in a-Si1-xCx:H; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; PRADO, R. J.; BITTENCOURT, D. R. S.; TABACKNICS, M. H.; FANTINI, M. C. A.; Journal of Applied Physics, 38 (1998) 2371 - 2379
  35. N-Type doping in PECVD a-Si1-xCx:H obtained under Starving Plasma condition; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; PERES, H. E. M.; Journal of Non-Crystalline Solids, 227 (1998) 483 - 487
  36. Thick SiOxNy and SiO2 Films Obtained by PECVD Technique at Low Temperatures; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Thin Solid Films, 332 (1998) 40 - 45
  37. Doping Efficiency in Highly Ordered PECVD a-Si1-xCx:H; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Brazilian Journal of Physics, 27/A (1997) 166 - 169
  38. Intrinsic and Doped Microcrystalline Silicon Films for Application in Double Barrier Structures; YU, Z.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; D'ADDIO, T. T. F.; FANTINI, M. C. A.; Brazilian Journal of Physics, 27(A) (1997) 105 - 109
  39. The Carbon Incorporation in PECVD a-Si1-xCx:H in the Low power Density Regime; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; TABACKNICS, M. H.; PRADO, R. J.; FANTINI, M. C. A.; Brazilian Journal of Physics, 27/A (1997) 150 - 153
  40. Distribution of pores in a-Si 1-x C :H thin films; PRADO, R. J.; BITTENCOURT, D. R. S.; PEREYRA, I.; TABACKNICS, M. H.; FANTINI, M. C. A.; Carreño, M.N.P.; Journal of Applied Crystallography, 30 (1997) 659 - 663
  41. Low Temperature PECVD Boron Nitride; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; BOTTECHIA, J. P.; Thin Solid Films, 308 (1997) 219 - 222
  42. On the Structural Properties of a-SiC:H thin films; MASTELARO, V.; FLANK, A. M.; FANTINI, M. C. A.; BITTENCOURT, D. R. S.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; Journal of Applied Physics, 79 (1996) 1324 - 1329
  43. Wide gap a Si1-xCx:H thin films obtained under starving plasma deposition conditions; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Journal of Non-Crystalline Solids, 201 (1996) 110 - 118
  44. Microvoids in diamond like amorphous Silicon Carbide; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; FANTINI, M. C. A.; TAKAHASHI, A.; LANDERS, R.; Journal of Applied Physics, 75 (1994) 538 - 542
  45. Effect of plasma etching, carbon concentration and buffer layer on the properties of a-Si:/H/a-SiC:H multi layers; VELASQUEZ, E. L. Z.; FANTINI, M. C. A.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; TAKAHASHI, A.; LANDERS, R.; Journal of Applied Physics, 75 (1994) 543 - 548
  46. X-Ray Reflectivity of Amorphous Multyi Layers: Interface Modeling; FANTINI, M. C. A.; SANTOS, P. V.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; 5th Brazilian School On Semiconductor Physics, (1992) 225
  47. TFTs With an a-SiCx:H Insulator Layer; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; ANDRADE, A. M.; Springer Proceedings In Physics, 62 (1992) 387
  48. Photocurrent Oscillations in a-SiC:H Double Barrier Devices Exhibiting Negative Differential Resistance; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; Springer Proceedings In Physics, 62 (1992) 387
  49. Density of Gap States in Non-Stoichiometric a-SiCx:H Films; ONMORI, R. K.; RAMOS, C. A. S.; Carreño, M.N.P.; ANDRADE, A. M.; PEREYRA, I.; Thin Solid Films, 11 (1989) 298
  50. Negative resistance in a-SiCx:H double barrier devices - frequency dependence; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; KOMAZAWA, A.; SASSAKI, C. A.; ARASAKI, A. T.; Journal of Non-Crystalline Solids, 114 (1989) 762 - 764
  51. Integral thin film technology amorphous silicon Image sensor; SASSAKI, C. A.; ARASAKI, A. T.; Carreño, M.N.P.; KOMAZAWA, A.; PEREYRA, I.; Journal of Non-Crystalline Solids, 115 (1989) 90 - 92
  52. Transistores de filme fino de a-Si:H/a-SiC:H ; KOMAZAWA, A.; Carreño, M.N.P.; ANDRADE, A. M.; PEREYRA, I.; Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, (1989)
  53. Um sensor de imagem básico em silício amorfo; ARASAKI, A. T.; SASSAKI, C. A.; Carreño, M.N.P.; KOMAZAWA, A.; PEREYRA, I.; Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, (1989)
  54. Negative Conductance and Sequential Tunelling in Amorphous Silicon-Silicon Carbide Double Barrier Devices; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; ALVAREZ, F.; Journal of Non-Crystalline Solids, 110 (1989) 175 - 178
  55. Evidence of Quantum Size effects in a-Si:H/a-SiCx:H Superlattices. Observation of Negative Resistance in Double Barrier Structures.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; ONMORI, R. K.; SASSAKI, C. A.; ANDRADE, A. M.; ALVAREZ, F.; Journal of Non-Crystalline Solids, 97-98 (1987) 871 - 874
  1. Development of MEMS varactor for selectable-band patch filter; REHDER, G.; SERRANO, A. L. C.; CORRERA, F. S.; CARRENO, M. N. P.; In: 2012 International Caribbean Conference on Devices, Circuits and Systems (ICCDCS), (2012) , Playa del Carmen
  2. Simulator for Microfluidics Based on the Lattice Boltzmann Method; KOMORI, F.S.; MIELLI, M.Z.; Carreño, M.N.P.; In: 26th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2011), 39 (2011) 461 - 468, Doão Pessoa
  3. Design of selectable-band patch filter for WiMax applications using MEMS varactor; REHDER, G.; Ariana Serrano; CORRERA, F. S.; Carreño, M.N.P.; In: 12th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2011, (2011) , Atenas
  4. Cube A Knowledge Extraction System; KOMORI, F.S.; COLOMBO, F. B.; Carreño, M.N.P.; In: 4º Workshop de Tecnologia Adaptativa, WTA 2010, (2010) 44 - 48, São Paulo
  5. Microfluidic Systems in PDMS for Study of Foraging Abilities of Marine Microorganisms; MIELLI, M.Z.; BALDASSO, L.F.; LOPES, R.M.; Carreño, M.N.P.; In: 25th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2010), 31 (2010) 449 - 455, São Paulo
  6. A Multi-Process Microfabrication Simulator based on Cellular Automata; COLOMBO, F. B.; Carreño, M.N.P.; In: 25th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2010), 31 (2010) 101 - 108, São Paulo
  7. Electrical Characterization of Undoped, N- and P-Type Thermal Annealed PECVD SiC Films Deposited on Transparent Insulator Substrates; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; In: 24th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2009), 23 (2009) 149 - 156, Natal, Brasil
  8. Integrated incandescent microlamp coupled to SiOxNy waveguide; CARVALHO, D.O.; CARREÑO, M. N. P.; Carreño, M.N.P.; REHDER, G.; ALAYO, M.I.; In: Photonics West: MOEMS-MEMS 2009 Micro and Nanofabrication, 7208 (2009) 72080U-1 - 72080U-10, San Jose, CA, USA
  9. Incandescent Microlamps based on MEMS and PECVD Materials; REHDER, G.; ALAYO, M.I.; Carreño, M.N.P.; In: 6th Ibero-American Conference on Optics (RIAO), 992 (2008) 743 - 748, Campinas, Brasil
  10. Piezoelectric Stimulation of Microcantilever Beams for Young s Modulus Determination of Amorphous hydrogenated Silicon Carbide; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; In: 23th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2008), 14 (2008) 63 - 71, Gramado, Brasil
  11. Microfluidic Systems by direct bonding process at room temperature in 7059 glass substrates; SCHIANTI, J.N.; Carreño, M.N.P.; In: 6th Ibero-American Congress on Sensors, 6 (2008) ,
  12. Glass Microchannels Systems for Microfluidic applications; SCHIANTI, J.N.; Carreño, M.N.P.; In: V Congresso Nacional de Engenharia Mecânica, CONEM 2008, (2008) , Salvador, BA, Brasil
  13. Simulation of anisotropic etching of silicon using a Cellular Automata model; OLIVEIRA JR, J. P.; Carreño, M.N.P.; In: 23th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2008), 14 (2008) 37 - 46, Gramado, Brasil
  14. Complete Microfluidic System Fabricated in Glass Substrates; SCHIANTI, J.N.; MIELLI, M.Z.; LOPES, A. T.; Carreño, M.N.P.; In: no 23th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2008), 14 (2008) 47 - 56, Gramado, Brasil
  15. 3D Simulation Software for Visualization of MEMS Microfabrication Processes; COLOMBO, F. B.; HOKAMA, P.M.; TSUDA, F.; JANKAUSKAS, R.G.; SOUZA, D.F.; KAYATT, Pedro; Carreño, M.N.P.; In: 23rd Symposium on Microelectronics Technology and Devices, SBMicro 2008, 14 (2008) 99 - 108, Gramado
  16. Simple MEMS based incandescent microlamps; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; ALAYO, M.I.; In: XXII Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2007), (2007) , Rio de Janeiro
  17. Silicon microtips with self-aligned integrated electrodes; BARROS, A. de L.; Carreño, M.N.P.; In: XXII Symposium on Microelectronics Technology and Devices XXII Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2007), (2007) , Rio de Janeiro
  18. Electro-Opto-Mechanical Cantilever-Based Logic Gates; Carreño, M.N.P.; ALAYO, M.I.; REHDER, G.; In: SPIE Symposium on MOEMS-MEMS 2007- Micro and Nanofabrication : Conference on 'MOEMS and Miniaturized Systems, 6466 (2007) , San Jose, CA
  19. Young's modulus of a-SiC:H determined by the resonant frequency of thermally driven cantilevers; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; In: XXI Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2006), (2006) , Ouro Preto, MG
  20. Optical and structural characterization of PECVD-silicon oxynitride films for waveguide device applications; ALAYO, M.I.; Carreño, M.N.P.; CRIADO, Denise; PEREYRA, I.; In: , 14 (2005) 1142 ,
  21. Polycrystallization of a-SiC:H layers by EXCIMER laser annealing for TFT fabrication; GARCIA, B; ESTRADA, M; ALBERTIN, K.F.; Carreño, M.N.P.; In: XX Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2005), 200508 (2005) 60 - 65, Florianópolis, SC
  22. Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature; Carreño, M.N.P.; REHDER, G.; In: XX Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2005), 200508 (2005) 372 - 379, Florianopolis, SC
  23. Plasma polymerisation of a fluorinated polymer for waveguide devices; BARTOLI, J.R.; GIACON, V. M.; ARASHIRO, E. Y.; VATAVUCK, J.; SOARES, J. R.; Carreño, M.N.P.; In: Soja - Recurso Renovável para Usos Industriais não alimentares, (2004) , Rio de Janeiro, RJ
  24. Formation of 3C-SiC films on silicon by thermal annealing process; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; In: XXVII Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (2004) 296 - 296, Poços de Caldas - MG
  25. Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; In: XXVII Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (2004) 141 - 141, Poços de Caldas - MG
  26. PECVD silicon oxinitride films for application in optical waveguide; ALAYO, M.I.; Carreño, M.N.P.; CRIADO, Denise; PEREYRA, I.; In: , 32 (2004) 409 - 411,
  27. Electrical characterization of post-growtn crystallized PECVD SiC films; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; In: , 352 (2004) 1298 - 1302,
  28. Polymeric Corrugated Membranes of PMMA fabricated by micro-casting technique for MOEMS and optical aplication; Carreño, M.N.P.; ARASHIRO, E. Y.; In: XIX Symposium on Microelectronics Technology and Devices, SBMicro 2004, 200403 (2004) 125 , Porto de Galinhas, Pernambuco
  29. Fabrication and characterization of PECVD-silicon-oxynitride-based waveguides; ALAYO, M.I.; CRIADO, Denise; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: XVII International Conference on Microelectronics and Packaging (ICMP'2002), (2004) , Porto Alegre
  30. Ciliary Motion in PECVD Silicon Carbide Microstructures; REHDER, G.; Carreño, M.N.P.; In: , 352 (2004) 2319 - 2323,
  31. Differences in the Laser Annealing of a-Si:H and a-SiC films; GARCIA, B; ESTRADA, M; GANDARILLA, F Cruz; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: 5th IEEE International Caracas Conference on Devices, Circuits and Systems, 1 (2004) 164 - 167, Punta Cana
  32. Factorial analysis of plasma fluorination process of PMMA spin-coated films; BARTOLI, J.R.; GIACON, V. M.; CABO, Ligia P.; CAMPOS, J.S.C.; Carreño, M.N.P.; In: , 32 (2003) 366 - 368,
  33. Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique; Carreño, M.N.P.; LOPES, A. T.; In: , 107 (2003) 33 - 38,
  34. Modificação da superfície de filmes de PMMA via polimerização por plasma de CHF3; GIACON, V. M.; BARTOLI, J.R.; CABO, Ligia P.; ARASHIRO, E. Y.; Carreño, M.N.P.; BOTELHO, A.M.P.L.R.; In: , 413 (2003) 59 - 64,
  35. Surface modifications of PMMA films films by CHF3 plasma polymerization; BARTOLI, J.R.; Carreño, M.N.P.; BOTELHO, A.M.P.L.R.; ARASHIRO, E. Y.; GIACON, V. M.; CABO, Ligia P.; In: , 32 (2003) 372 - 375,
  36. In-situ and Ion Implantation Nitrogen doping on near stoichiometric a-SiC:H films; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; In: , 29 (2003) 89 - 96,
  37. Phosphorus implantation on near stochiometri a-SiC:H films; OLIVEIRA, A.R.; Carreño, M.N.P.; In: , (2002) 17 - 21,
  38. 3D topography in self-sustained membranes of SiOxNy obtained by PECVD technique at low temperatures; Carreño, M.N.P.; LOPES, A. T.; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; In: XXVI Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (2002) 312 , Caxambu
  39. Evaluation of the Fracture Toughness of Silicon Carbide Thin Films through Two Different Indentation Techniques; SOUSA, R. M.; CUPPARI, M. A. V.; PINTAUDE, G.; VILCARROMERO, J.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; SINATORA, A.; In: , 84 (2001) 5184 - 5190,
  40. Monte Carlo Simulation of Doping by Ion Implantation into a-SiC:H; OLIVEIRA, A.R.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; In: , 12 (2001) 10 - 19,
  41. Fabrication of Self-Sustained Membranes using PECVD SiOxNy Films; LOPES, A. T.; ALAYO, M.I.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: 6th Ibero-American Conference on Optics (RIAO); 9th Latin-American Meeting on Optics, Lasers and Applications (OPTILAS), 992 (2000) 743 - 748, Campinas - São Paulo
  42. Development and characterization of graded-index polymeric films for optical guides and sensors; BARTOLI, J.R.; COSTA, R A da; VERDONCK, Patrick Bernard; MANSANO, R.D.; Carreño, M.N.P.; In: , 354 (2000) 2646 - 2651,
  43. Mechanical Properties of Boron Nitride Thin Films obtained by rf-PECVD at Low Temperatures; VILCARROMERO, J.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: , 212 (1999) 225 - 231,
  44. P-type doping in a-Si1-xCx:H obtained by PECVD; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: , 27/A (1999) 150 - 153,
  45. Wide optical bandgap window layer for Solar Cells; YU, Z.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; In: , 50 (1999) 241 - 247,
  46. Estudo da Modificação da Superfície de PMMA com plasma de CF4/H2 para Processamento de Fibras Ópticas Poliméricas; Carreño, M.N.P.; BARTOLI, J.R.; COSTA, R A da; MANSANO, R.D.; VERDONCK, Patrick Bernard; MARTINS, O. L. B.; FILHO, R. L.; In: XV Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência de Materiais, (1998) , Natal - RN
  47. Estudy of CF4 + H2 Plasma Surface Fluorination of PMMA; BARTOLI, J.R.; MANSANO, R.D.; VERDONCK, Patrick Bernard; Carreño, M.N.P.; COSTA, R A da; CASTRO, S. C.; In: 14a Reunião Anual de Usuários do LNLS, (1998) , Campinas
  48. Deposition of Thick SiOxNy and SiO2 Films by PECVD; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; In: XV Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência de Materiais, (1998) , Natal - RN
  49. Effect of the Starving Plasma condition on the properties of silicon carbon alloys deposited by PECVD ; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: , 36 (1996) 375 - 378,
  50. Structural Characterization of a-Si1-xCx:H for Applications in TFT's; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; FANTINI, M. C. A.; TAKAHASHI, H.; LANDERS, R.; In: , 05 (1992) 01 - 04,
  51. Influence on Hydrogen Plasma in the Properties of a-Si:H/a-SiC:H Interfaces; FANTINI, M. C. A.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; ANDRADE, A. M.; In: 21st International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, (1991) , Lisboa, Portugal
  52. Study of Carbon Incorporation in a-Si1-xCx:H Films; ONMORI, R. K.; PEREYRA, I.; SASSAKI, C. A.; Carreño, M.N.P.; In: V Ibersensor, (1989) , Montevideo, Uruguai
  53. Efeitos das Dimensões Quânticas em Heteroestruturas de Si-a:H/Sic-a:H; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; ONMORI, R. K.; SASSAKI, C. A.; ANDRADE, A. M.; In: , 107 (1987) 3733 - 3737,
  54. Influence of a DC Electric Field on the Hydrogen Incorporation and Doping Efficiency of a-Si:H Films; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; SASSAKI, C. A.; ANDRADE, A. M.; In: 5o Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, (1986) , Florianópolis, Santa Catarina
  1. Biochemical sensors: comparison of the performance of TiO2, SnO2:F and ITO used as the main sensing element; FERNANDES, F. C.; ALBERTIN, K.F.; SILVA, G. O.; HEIMFARTH, T.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; MULATO, M.; In: 223rd ECS Meeting, (2013) , Toronto, Canada
  2. pH sensors based on TiO2 nanotubes; ALBERTIN, K.F.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; In: 8th Ibero-American Congress on Sensors (Ibersensor 2012), 8 (2012) , Isla Verde,
  3. Electrical characterization of Schottky diodes fabricated on highly ordered PECVD SiC p-layers; Carreño, M.N.P.; OLIVEIRA, A.R.; In: IV Congresso Iberoamericano de Sensores, Ibersensor2004, (2004) 13 , Puebla, México
  4. Ciliary Motion in PECVD Silicon Carbide Microstructures; Carreño, M.N.P.; REHDER, G.; In: 22nd Symposium on Microelectronics Technology and Devices, 9 (2004) 461 , Ro de Janeiro
  5. Thick SiOxNy and SiO2 Films Obtained by PECVD Technique at Low Temperatures; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; In: Proceedings of the 1st Brazilian Material Research Society Meeting, (1998) , Rio de Janeiro
  6. Análise do Espectro Vibracional de ligas de Silício-Carbono de Composição Variável; PEREYRA, I.; PRADO, R. J.; Carreño, M.N.P.; FANTINI, M. C. A.; TABACKNICS, M. H.; In: XIX Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (1996) , Aguas de Lindóia, SP
  7. Distribuição de Poros em a-SiC:H obtido por PECVD; PRADO, R. J.; BITTENCOURT, D. R. S.; TABACKNICS, M. H.; FANTINI, M. C. A.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: XV Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais 2002, 1 (1996) , Natal
  8. Nitreto de Boro obtido por PECVD a baixas temperaturas; Carreño, M.N.P.; BOTTECHIA, J. P.; PEREYRA, I.; In: XIX Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (1996) , Aguas de Lindóia, SP
  9. Efeito da Condição de Starving Plasma na obtenção de Filmes de Carbeto de Silício Crescidos por PECVD; Carreño, M.N.P.; ALAYO, M.I.; PEREYRA, I.; In: XIX Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (1995) , Aguas de Lindóa, SP
  10. On the Structural Properties of a-Si1-xCx:H thin Films; MASTELARO, V.; FLANK, A. M.; FANTINI, M. C. A.; BITTENCOURT, D. R. S.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: XVIII Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, (1994) , Caxambú, MG
  11. EXAFS e SAXS de Filmes Finos de a-Si1-xCx:H; MASTELARO, V.; FLANK, A. M.; FANTINI, M. C. A.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: V Workshop de Usuários do LNLS, (1994) , Campinas, SP
  12. Efeitos dos Parâmetros de Deposição sobre a Qualidade de Multicamadas de a-Si:H/a-Si1-xCx:H; VELASQUEZ, E. L. Z.; FANTINI, M. C. A.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; TAKAHASHI, H.; LANDERS, R.; In: XII Reunião da Sociedade Brasileira de Cristalografia, (1992) , São Paulo, SP
  13. Determinação por EXAFS da Ordem Local de Filmes de a-Si1-xCx:H; MASTELARO, V.; FLANK, A. M.; FANTINI, M. C. A.; BITTENCOURT, D. R. S.; Carreño, M.N.P.; PEREYRA, I.; In: Oficina de Propriedades de Materiais de Camada Fina para Aplicações Fotovoltaicas, Microeletrônicas e Recobrimentos, (1992) , Campinas, SP
  14. Estudo por difração de raios-X de estruturas de multicamadas amorfas; FANTINI, M. C. A.; SANTOS, P. V.; PEREYRA, I.; Carreño, M.N.P.; In: 17a Reunião Anual da Sociedade Brasileira de Cristalografia, (1990) , Campinas, SP
  15. Multicamadas Amorfas de a-Si:H/a-Ge:H e a-Si:H/a-SiC: Um Estudo por Difração de Raios-X a Baixo Ângulo; FANTINI, M. C. A.; Carreño, M.N.P.; SANTOS, P. V.; PEREYRA, I.; In: XV Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada, ENFMC, (1990) , Caxambú, MG
Orientações em andamento

DOUTORADO

  1. Fábio Suusmu Komori
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Desenvolvimento de um simulador computacional de dinâmica dos fluídos utilizando método de Lattice Boltzmann
    2012

  2. Fábio B. Colombo
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Simulação de fenômenos eletromagnéticos pelo método de Lattice Boltzmann
    2011

SUPERVISÃO DE PÓS-DOUTORADO

  1. Leandro Matiolli

    Desenvolvimento de um sistema microfluídico para detecção em tempo real de microorganismo patogênicos em água de lastro
    2012

  2. Gustavo Pamplona Rehder

    RF MEMS baseados em a-SiC:H e SiOxNy obtidos por PECVD em baixas temperaturas
    2010

INICIAÇÃO CIENTÍFICA

  1. Bruno Marinaro Verona
    Desenvolvimento de sensores microfluídicos baseados em deteção óptica
    2012

  2. Vinícious Oliveira Lourenzen
    Desenvolvimento de um chip microfluidico para PCR e PCR em Tempo Real
    2012

  3. Ricardo Hitoshi Nakano
    Sistema sensor para monitoramento da pressão mandibular em pacientes de bruxismo
    2012

Orientações concluídas

MESTRADO

  1. Murilo Zubioli Mielli
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Sistemas Microfluídicos em PDMS : Fabricação e Aplicações
    2012

  2. Fabio Sussumu Komori
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Simulação da dinâmica de fluídos utilizando modelo de Lattice Boltzman
    2012

  3. Fabio Belotti Colombo
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Simulação de processos de deposição e corrosão seletiva de filmes para processos de microfabricação em superfície
    2011

  4. Jose Pinto de Oliveira Junior
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Desenvolvimento de Software para Simulação Atomística da Corrosão Anisotrópica do Silício por Autômato Celular
    2008

  5. Juliana Novais Schianti
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Sistemas de Microcanais em vidro para aplicações em microfluídica
    2008

  6. Alex de Lima Barros
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Desenvolvimento de um software de simulação e visualização para o ensino de Ciência e Tecnologia no Ensino Médio
    2007

  7. Gustavo Pamplona Rehder
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Filmes de a-SiC:H obtido por PECVD e sua aplicação em sistemnas micro-eletro-mecânicos (MEMS)
    2005

  8. Alessandro Ricardo de Oliveira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Dopagem Elétrica de filmes finos de Carbeto de Silício Amorfo Hidrogenado (a-SiC:H) obtido por PECVD
    2002

  9. Alexandre Tavares Lopes
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Microfabricação à base de materiais crescidos por PECVD
    2002

DOUTORADO

  1. Gustavo Pamplona Rehder
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Propriedades Temomecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS
    2006

  2. Alessandro Ricardo de Oliveira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Estudo da viabilidade de fabricação de dispositivos semicondutores baseados em carbeto de silício crescido por PECVD
    2006

  3. Emerson Yasuyuki Arashiro
    ORIENTADOR_PRINCIPAL
    Filmes poliméricos de PMMA e sua aplicação em sistemas opto-micro-eletro-mecânicos (MOES)
    2006

OUTRAS ORIENTAÇÕES

  1. Alessandro Ricardo de Oliveira
    - Supervisão de pós-doutorado
    Desenvolvimento de diodos Schottky baseados em filmes semicondutores, amorfos e cristalizados, de carbeto de silício obtido por PECV
    2009

OUTRAS ORIENTAÇÕES

  1. Luis Felipe Ticianeli Ferreira
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Desenvolvimento de biosensores baseados em sistemas microfluídicos
    2012

  2. Regis Capitani Nori
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Sensor microfluidico para processos eletroquímicos
    2011

  3. Carla Correia Garcia
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Simulação dos Fenômenos de transporte de Calor em Sistemas Micro-eletro-MEcânicos (MEMS)
    2010

  4. Murilo Zubiolli Mielli
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Sistemas Microfluidicos em PDMS para estudo de micriorganismos marinhos
    2009

  5. Vinicius Alves Oyama
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Interação de Tecnologias AJAX com bando de dados Relacional MySQ
    2009

  6. Alexandre Ribeiro Perugini
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Ferramentas gráficas para desenho de Sistemas Micro-Eletro-Mecânicos (MEMS) complexos
    2009

  7. Fernando Marchi Nunes
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Simulador de processos para microeletrônica e MEMS
    2009

  8. Adriano Rogerio Santana de Oliveira
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Ferramentas em PHP e JavaScript para lidar com inmformação transportada por tecnologia XML
    2009

  9. Ricardo Seara Neto
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Visualizador atomistico de estruturas cristalográficas
    2009

  10. Vinicius Alves Oyama
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Interação de Tecnologias AJAX com bando de dados Relacional MySQ
    2009

  11. Fábio B. Colombo
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Cluster de Playstation 3 para Computação Científica
    2008

  12. Fabio Bellotti Colombo
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Visualização e simulação de processos de microfabricação em MEMS : Visualização atomística dos planos cristalográficos na corrosão anisotrópica de Si
    2008

  13. Douglas Fernandes de Souza
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Óptica Integrada : simulação e visualização de processos de microfabricação
    2008

  14. Murilo Zubioli
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Micropontas de Silício com eletrodos Integrados : Fabricação e Caracterização elétrica
    2008

  15. Rafael Garib Jankauskas
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Recursos de Visualização Dinâmica em Software de Simulação-Visualização de processos de fabricação de MEMS
    2008

  16. Felipe Cesar Maia
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Ferramentas gráficas para projeto de Sistemas Micro-Eletro-Mecânicos (MEMS)
    2008

  17. Pedro Kayatt
    - INICIACAO_CIENTIFICA
    Interface gráfica para software de visualização no projeto e desenvolvimento de MEMS e técnicas de microfabricação
    2007

  18. Paula Morita Hokama
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Software de visualização e simulação dos processos de Microfabricação em Substrato de MEMS
    2006

  19. Fernando Tsuda
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Projeto de dispositivos ópticos integrados : Simulação e visualização dos processos de microfabricaçãoSoftware de visualização e simulação dos processos de Microfabricação em Superfície de MEMS
    2006

  20. Adriana Tiemi Abe
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Caracterização e propriedades de materiais obtidos por PECVD para desenvolvimento de TFT s
    2005

  21. Jose Pinto de Oliveira Jr
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Software de simulação/visualização em linguagem Java dos processos microfabricação
    2005

  22. Roberto Feola Lopes da Silva
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Microfacricação de Superfície baseadaem a-SiC:H obtido por PECVD
    2005

  23. Andre Zanetti Nascimbeni
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Aerogel de SiO2 poroduzido por plasma CVD
    2004

  24. Emilene Laurentino Santos
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Corrosão de a-Si:H e a-SiC:H de alto gap obtidos por PECVD para aplicação em TFT's
    2004

  25. Alan Tavares da Costa
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Caracterização elétrica de TFT s de a-Si:H com a-SiC:H de alto gap como dieletrico de porta
    2004

  26. Rodrigo Pereira da Costa
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    TFT s e dispositivos de filme fino baseados em a-SiC:H obtido por PECVD em baixas temperaturas
    2004

  27. Dayne de Souza Albuquerque
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Membranas auto-sustentadas de a-SiC:H e SiOxNy obtidos por PECVD
    2004

  28. Andre Pinto
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Desenvolvimento de um software de simulação/visualização em linguagem C dos processos de Microfabricação
    2004

  29. Jose Antonio Rocha
    - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Corrosão por Plasma de Filmes de Carbeto de Silício crescido por PECVD
    2001

  30. Jose Antonio Rocha
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Corrosão por Plasma de Filmes de Carbeto de Silício crescido por PECVD
    2001

  31. Ricardo Aparecido Rodrigues de Oliveira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Caracterização Elétrica de Filmes Finos de a-SiC:H obtidos por PECVD e dopados tipo-N
    2000

  32. Alexandre Tavares Lopes
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - ORIENTACAO-DE-OUTRA-NATUREZA
    Películas Semicondutoras e Isolantes Obtidas por PECVD : Obtenção e Aplicações
    2000

  33. Alessandro Ricardo de Oliveira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Dopagem de tipo P com Alumínio em Filmes de SiC crescidos por PECVD
    1999

  34. Alexandre Tavares Lopes
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Obtenção e aplicação de películas semicondutoras e isolantes por PECVD
    1998

  35. Jen Jye Wen
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Processos de Fabricação de Dispositivos Semicondutores
    1998

  36. Ricardo Aparecido Rodrigues de Oliveira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Caracterização de filmes finos de a-SiC:H obtidos por PECVD
    1998

  37. Alexandre Tavares Lopes
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Obtenção e aplicação de Películas Semicondutoras e Isolantes por PECVD
    1998

  38. Samara Denise Miura
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Processos de fabricação de dispositivos semicondutores de filme fino
    1997

  39. André Luis Monteiro Alvares
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - TRABALHO_DE_CONCLUSAO_DE_CURSO_GRADUACAO
    Automação de um sistema de PECVD para deposição de filmes
    1996

  40. Raimundo Nonato Pimenta Filho
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Caracterização de filmes de a-SiC:H de obtidos por PECVD
    1996

  41. Geraldo José de Paula Júnior
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Deposição de filmes por reação química ativada por plasma
    1995

  42. Claudio Alves de Lima
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Caracterização de filmes de silício amorfo hidrogenado, a-Si:H, obtido por PECVD
    1994

  43. Gélio Mendes Ferreira
    ORIENTADOR_PRINCIPAL - INICIACAO_CIENTIFICA
    Sensor de Cores de Silício Amorfo Hidrogenado
    1989

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