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Marcus Vinicius Pelegrini Doutorado
E-mail:
marcuspelegrini@hotmail.com
Fone: +55 11 3091-0722
Sala: C2-66
Currículo Lattes: http://lattes.cnpq.br/3030649493768008
Orientador/Supervisor: Inés Pereyra
Perfil/Atividades

Possui mestrado em Egenharia Elétrica pela Escola Politêcnica da Universidade de São Paulo (2010) e graduação em Materiais, Processos e Componentes Eletrônicos pela Faculdade de Tecnologia de São Paulo (2007). No momento desenvolve doutorado na área de materiais ferrroelétricos (BST) para aplicação em RF-MEMS. Possui experiência em processo para microeletrônica e na deposição  e caracterização de filmes finos de materiais piezoeletricos, semicondutores e dielétricos obtidos por PECVD e Magneton Sputtering, como o nitreto de alumínio (AlN), o carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-SiC:H) e o nitreto de silício (a-SixNy:H).

Trabalhos relacionados
Teses e dissertações

Dissertação mestrado: Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por "sputtering" reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS

Data defesa: 28/10/2010
Link banco de teses: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/pt-br.php

  1. Characterization of AlN films deposited by r.f. reactive sputtering aiming MEMS applications; Pelegrini, Marcus V.; Pereyra, Inés; physica status solidi (c), (2010) NA - NA
  2. a-SiC:H films deposited by PECVD for MEMS applications; PELEGRINI, M. V.;Pelegrini, Marcus V.; Rehder, Gustavo P.; Pereyra, Inés; physica status solidi (c), (2010) NA - NA
  3. Study of a-Si1-XCX: H Thin Films Obtained by PECVD in Temperatures Lower than 250 C Aiming Applications in Optics, Thin Films Devices on Polymeric Substrate and MEMS; PELEGRINI, M. V.;Pelegrini, Marcus V.; PEREYRA, I.; ECS transactions, 23 (2009) 127 - 134
  4. ESTUDO DE FILMES DE a-Six-1 Cx: H OBTIDOS POR PECVD EM TEMPERATURAS ABAIXO DE 250ºC; PELEGRINI, M. V.;Pelegrini, Marcus V.; PEREYRA, I.; Boletim Técnico da Faculdade de Tecnologia de São Paulo, dez-07 (2007) 45
  1. AlN anti-resonant layer ARROW waveguides; PELEGRINI, M. V.; D. O. Carvalho; M.I.Alayo; PEREYRA, I.; In: , 266 (2010) 699 - 703,
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