Projetos de Pesquisa

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Dispositivos Ópticos Integrados para Sensoriamento

Período: 01/01/2009 - 01/12/2012
Descrição:

Processo No.: 301349/2008-8
O presente projeto de pesquisa tem como objetivo otimizar as etapas de simulação, fabricação e caracterização de dispositivos ópticos que estamos desenvolvendo, tais como:guias de onda convencionais e ARROWs, filtros interferenciais e dispositivos Mach-Zehnder e, ademais, objetiva realizar estudos para a aplicação destes dispositivos na fabricação de sensores ópticos, como: filtros interferenciais sintonizáveis baseados em compostos de silício, sensores termo-ópticos usando interferômetro Mach-Zehnder, portas ópticas digitais baseadas em cantilevers termo-mecânicos e dispositivos ópticos para sensoriamento de gases. Estes dispositivos são fabricados usando materiais dielétricos depositados pela Técnica de Deposição Química Assistida por Plasma (PECVD) e pela técnica de Sputtering e são definidos geometricamente usando a infra-estrutura comumente usada para a fabricação de dispositivos microeletrônicos.

Coordenador(es): Marco Isaías Alayo Chávez
Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)
Recursos: Bolsa de Produtividade em Pesquisa - Nível 2

Desenvolvimento de dispositivos ópticos e opto-eletrônicos baseados em compostos de silício

Período: 01/01/2009 - 01/12/2009
Descrição:

Processo No. 301564/2005-1
Neste período pretendo desenvolver, fabricar e caracterizar dispositivos ópticos e opto-eletrônicos utilizando materiais que são convencionalmente usados na microeletrônica tais como: silício, oxinitretos de silício (SiOxNy), nitreto de silício (Si3N4) e utilizando toda a infraestrutura que é comumente aplicada para a fabricação de dispositivos microeletrônicos. Assim, em um principio nosso objetivo estará focado fundamentalmente a demonstrar a viabilidade de utilizar toda a tecnologia que foi desenvolvida para a microeletrônica na fabricação de dispositivos ópticos e opto-eletrônicos e; posteriormente fabricaremos e caracterizaremos alguns dispositivos ópticos tais como sensores termo-ópticos, electro-ópticos, multiplexadores ópticos, entre outros. Estas atividades serão desenvolvidas dentro do Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD) do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos (PSI) da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo.

Coordenador(es): Marco Isaías Alayo Chávez
Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)
Recursos: Bolsa de Produtividade em Pesquisa - Nível 2

Projeto 1 : Pró-Reitoria de Pesquisa/USP

Período: 16/06/2008 - 16/06/2009
Descrição:

Projeto concedido no 1o Trimestre de 2008.

Link em :  http://www.usp.br/prp/projeto1

Coordenador(es): Marcelo N.P. Carreño
Financiador(es): USP
Recursos: R$ 3.000,00

Caracterização de dispositivos termo-ópticos e eletro-ópticos

Período: 01/01/2007 - 01/12/2009
Descrição:

Processo No. 477214/2007-0
Este projeto de pesquisa tem por objetivo melhorar a infra-estrutura do sistema de caracterização de dispositivos ópticos integrados do Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD) do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos (PSI) da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo. Os equipamentos que se pretendem comprar irão permitir uma melhor caracterização dos dispositivos ópticos, termo-ópticos e eletro-ópticos que já vem sendo desenvolvidos dentro do Grupo tais como: Guias de Onda ARROW (Anti-resonant reflecting optical waveguide), filtros interferenciais e cavidades ressonantes, sensores termo-eletro-ópticos baseados em Interferômetros Mach-Zehnder e portas digitais ópticas. Desta forma, com uma caracterização mais acurada, será possível otimizar os dispositivos sendo fabricados.

Coordenador(es): Marco Isaías Alayo Chávez
Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)
Recursos: R$ 19.900,00

Desenvolvimento de dispositivos ópticos utilizando compostos de silício

Período: 01/01/2007 - 01/12/2009
Descrição:

Processo No. 2007/00775-1
O objetivo do presente projeto de pesquisa é dar continuidade ao trabalho de desenvolvimento e caracterização de dispositivos ópticos, termo-ópticos, eletro-ópticos e mecano-ópticos usando compostos de silício depositados pela Técnica de Deposição química assistida por plasma (PECVD). Este trabalho vem sendo desenvolvido dentro do departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo. Basicamente, o projeto consiste na simulação, fabricação e caracterização de dispositivos ópticos como: guias de onda convencionais e ARROW, sensores termo-óptico usando interferômetro Mach-Zehnder, filtros interferenciais baseados em compostos de silício e portas ópticas digitais baseadas em cantilevers termo-mecânicos.

Coordenador(es): Marco Isaías Alayo Chávez
Financiador(es): Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP)
Recursos: U$ 38059,25+ R$ 38706,60

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