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Micropontas de Silício para Emissão de Elétrons por efeito de Campo
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Instrumentação Eletrônica
Sistema sensor para monitoramento da pressão mandibular em pacientes de bruxismo
Teatro, Texto e Cena
MEMS, Microfluídica e Biosensores
Desenvolvimento de um sistema microfluídico para detecção em tempo real de microorganismo patogênicos em água de lastro
Detector óptico de fluorescência para aplicação em PCR Real Time
Defasadores baseado em RF-MEMS para aplicação em ondas milimétrica
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Detecção do DNA de agentes patogênicos marinhos utilizando biochip para PCR em Tempo Real
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Sistemas microfluídicos em PDMS para electroforesis
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MEMS baseados em a-SiC:H PECVD
Micropontas de Silício com eletrodos Integrados : Microfabricação
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Sistema de Microcanais em Vidro para Microfluídica
Chaves Opticas I
Desenvolvimento de Software
Projeto CUBE : construção de uma Base de Conhecimento
Simulação da dinâmica de fluídos utilizando o método de Lattice Boltzmann
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Simulador atomístico de precessos de microfabricação para MEMS
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Simulador/Visualizador de Processos de Microfabricação (simMEMS v.3)
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Visualizador atomístico para cristalografía e processos de corrosão
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Novos Materiais e Materiais Nanoestruturados
Cristalização de filmes de a-SiC:H obtidos por PECVD
Materiais ferrroeletricos (BST) para aplicação em RF-MEMS
Nitreto de Boro preparado pela técnica de PECVD em baixas temperaturas
Produção e Caracterização de materiais nanoestruturados baseados em Si e obtidos por PECVD e Sputtering
Filmes de Nitreto de Carbono (CN) obtidos por PECVD
Semicondutores de alto gap obtidos por PECVD : Fotoluminescência e espectroscopia Raman
Ligas amorfas hidrogenadas de Si, O e N obtidas por PECVD e ricas em Silício
Obtenção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos por PECVD
Morfologia e estrutura de filmes de SiOxNy obtidos por PECVD
Propriedades Termomecânicas de Filmes Finos de a-SiC:H e SiOxNy
Nitreto de Alumínio (AlN) para MEMS
Filmes de TiO2 e TiOxNy obtidos pela técnica de rf magnetron sputtering
Luminescência em multicamadas nanoestruturadas de filmes a base de silício
Corrosão por plasma de filmes amorfos e cristalizados de SiC obtidos por PECVD
Obtenção e propriedades de filmes de nitreto de alumínio (AlN)
Dispositivos Semicondutores
Dispositivos de barreira baseados em estruturas de Si/SiC microcristalino
Sistema para monitoramento e análise de agua de lastro
Transistores de Filme Fino (TFT)
Dopagem de filmes cristalizados de SiC obtidos por PECVD
Estudo de capacitores MOS com camada dielétrica de SiOxNy obtidas pela técnica de PECVD
Estudo de camadas dielétricas para capacitores MOS
Desenvolvimento de Diodos Schottky baseados em filmes finos semicondutores amorfos e cristalizados de carbeto de silício obtido por PECVD
Óptica Integrada
Portas Opto-Eletro-mecânicas atuadas termicamente
Dispositivos eletro-ópticos (Mach-Zehnder)
Desenvolvimento de Guias de Onda ARROW
Filtros Interferenciais
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Projetos de pesquisa
