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Micropontas de Silício para Emissão de Elétrons por efeito de Campo
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Instrumentação Eletrônica
Sistema sensor para monitoramento da pressão mandibular em pacientes de bruxismo
Teatro, Texto e Cena
MEMS, Microfluídica e Biosensores
Desenvolvimento de um sistema microfluídico para detecção em tempo real de microorganismo patogênicos em água de lastro
Detector óptico de fluorescência para aplicação em PCR Real Time
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Detecção do DNA de agentes patogênicos marinhos utilizando biochip para PCR em Tempo Real
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Sistemas microfluídicos em PDMS para electroforesis
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Micropontas de Silício com eletrodos Integrados : Microfabricação
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Chaves Opticas I
Desenvolvimento de Software
Projeto CUBE : construção de uma Base de Conhecimento
Simulação da dinâmica de fluídos utilizando o método de Lattice Boltzmann
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Simulador atomístico de precessos de microfabricação para MEMS
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Cristalização de filmes de a-SiC:H obtidos por PECVD
Materiais ferrroeletricos (BST) para aplicação em RF-MEMS
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Semicondutores de alto gap obtidos por PECVD : Fotoluminescência e espectroscopia Raman
Ligas amorfas hidrogenadas de Si, O e N obtidas por PECVD e ricas em Silício
Obtenção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos por PECVD
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Propriedades Termomecânicas de Filmes Finos de a-SiC:H e SiOxNy
Nitreto de Alumínio (AlN) para MEMS
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Luminescência em multicamadas nanoestruturadas de filmes a base de silício
Corrosão por plasma de filmes amorfos e cristalizados de SiC obtidos por PECVD
Obtenção e propriedades de filmes de nitreto de alumínio (AlN)
Dispositivos Semicondutores
Dispositivos de barreira baseados em estruturas de Si/SiC microcristalino
Sistema para monitoramento e análise de agua de lastro
Transistores de Filme Fino (TFT)
Dopagem de filmes cristalizados de SiC obtidos por PECVD
Estudo de capacitores MOS com camada dielétrica de SiOxNy obtidas pela técnica de PECVD
Estudo de camadas dielétricas para capacitores MOS
Desenvolvimento de Diodos Schottky baseados em filmes finos semicondutores amorfos e cristalizados de carbeto de silício obtido por PECVD
Óptica Integrada
Portas Opto-Eletro-mecânicas atuadas termicamente
Dispositivos eletro-ópticos (Mach-Zehnder)
Desenvolvimento de Guias de Onda ARROW
Filtros Interferenciais
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Projetos de pesquisa