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Foram encontrados 5 trabalhos para a tag " a-SiC:H"

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A corrosão do a-SiC:H é um processo complexo que envolve efeitos físicos e químicos na remoção dos átomos de Si, C, H do filme. Como quebrar as liga...

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O objetivo deste trabalho foi o desenvolvimento de sistemas microeletromecânicos (MEMS) de carbeto de silício amorfo hidrogenado e outros materiais obtidos por PECVD, visando à...

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Para aplicações em dispositivos é comumente desejado preparar filmes com o máximo de condutividade elétrica. Filmes finos de a-SiC:H com condutividade apropriada...

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