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Atualização: Seg, 16 de Novembro de 2009 às 16h29 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Luminescência em multicamadas nanoestruturadas de filmes a base de silício
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Responsável: - Márcia Ribeiro
Coordenador: - Inés Pereyra

Este trabalho de doutorado visa dar continuidade às pesquisas realizadas no mestrado, a saber, a caracterização e estudo das propriedades luminescentes de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy:H) ricos em silício, depositados pela técnica de deposição química a vapor assistida por plasma a baixa temperatura (PECVD). Os resultados obtidos no mestrado indicaram que os filmes de SiOxNy:H ricos em silício apresentam emissão luminescente na faixa do visível cuja intensidade e freqüência de emissão estão em correlação com a concentração de silício. Resultados similares em sistemas equivalentes já têm sido reportados na literatura, mas ainda há controvérsia a respeito da origem da emissão luminescente que tem sido atribuída a efeitos de tamanho quântico em aglomerados nanométricos de silício presentes no material embebidos numa matriz isolante de SiOxNy:H bem como a estados radiativos na interface dos aglomerados com a matriz isolante. Neste estudo pretende-se identificar a origem da luminescência analisando em maior detalhe esses dois fenômenos. Para tal, foram produzidas multicamadas de silício, de espessuras variáveis de poucos nanômetros, alternadas com camadas de espessura fixa de óxido de silício ou nitreto de silício. As informações obtidas na emissão luminescente nestes sistemas estarão relacionadas com as dimensões da camada de silício e com a interface. As multicamadas a base de silício foram caracterizadas pelas técnicas de espectroscopia de absorção no infravermelho (FTIR), espectroscopia Raman, fotoluminescência (PL), espectroscopia de absorção de raios x próximos à borda do silício (XANES), e microscopia eletrônica de transmissão de alta resolução (HRTEM). Ainda são correlacionados os resultados anteriormente obtidos para os filmes de oxinitreto de silício ricos em silício com os resultados obtidos para as multicamadas com o intento de auxiliar na análise e esclarecer os fenômenos responsáveis pela emissão luminescente.

Tags: luminescência, multicamadas, PECVD, silício
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