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Atualização: Seg, 03 de Novembro de 2014 às 16h43 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Nitreto de Alumínio (AlN) para MEMS
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Responsável: - Marcus Vinicius Pelegrini
Coordenador: - Inés Pereyra

Este projeto de pesquisa envolve a obtenção e aplicação de filmes finos de Nitreto de Alumínio (AlN) visando suas propriedades piezoeleétricas para aplicação em MEMS.

Tags: AlN
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