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Atualização: Sáb, 05 de Junho de 2010 às 19h42 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Simulador atomístico de precessos de microfabricação para MEMS
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Responsável: - Fábio Belotti Colombo
Coordenador: - Marcelo Nelson Páez Carreño

O objetivo central deste projeto é dar continuidade ao desenvolvimento e otimização do programa "simMEMS", um software de simulação e visualização dos processos de microfabricação utilizados em tecnologia de MEMS.  Assim, pretendemos desenvolver novos algoritmos baseados em Autômato Celular para simular processos que ainda não foram implementados ou que eram baseados em algoritmos geometricos. Assim, nossa proposta aqui é desenvolver um simulador atomistico e  totalmente baseado em automato celular.

Em particular pretendemos  desenvolver um simulador  para :

  • a deposição e corrosão seletiva de filmes finos depositados sobre um substrato. Com isto, esperamos poder simular a deposição de filmes com diferente grau de conformidade e,
  • a corrosão de camadas de sacrificio em processos de microfabricação em superfície.

Além disso, também incluir módulos específicos para simular propriedades físicas dos micro-sistemas, como a distribuição de esforços e/ou calor nas microestruturas. A proposta é que este módulo seja baseado no método de elementos finitos e nesse sentido esperamos que a discretização espacial utilizada nos Autômatos Celulares nos permita desenvolver um gerador automático de malhas (“mesh generator”).

Este projeto está sendo desenvolvido no constexto do trabalho de Mestrado de Fábio Belotti Colombo.

Tags: MEMS, Simulação, Software
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