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Atualização: Ter, 14 de Abril de 2009 às 23h59 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Obtenção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos por PECVD
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Responsável: - Denise Criado
Coordenador: - Inés Pereyra

Tags: SiOxNy, PECVD
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