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Atualização: Qua, 15 de Abril de 2009 às 0h04 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Ligas amorfas hidrogenadas de Si, O e N obtidas por PECVD e ricas em Silício
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Responsável: - Ricardo Aparecido R. Oliveira
Coordenador: - Inés Pereyra

Tags: SiOxNy, PECVD
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