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Atualização: Sáb, 05 de Junho de 2010 às 14h15 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Produção e Caracterização de materiais nanoestruturados baseados em Si e obtidos por PECVD e Sputtering
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Responsável: - Márcia Ribeiro
Coordenador: - Inés Pereyra

Este projeto de pesquisa tem por objetivo desenvolver estudos sobre a funcionalidade de materiais nanoestruturados à base de silício em aplicações ópticas. Este estudo foi motivado principalmente a partir da destacada emissão luminescente relatada no silício poroso, entretanto, a instabilidade química e a degradação da luminescência limita a aplicação desse material .

Assim, nosso interesse é desenvolver novos materiais a base de silício, estáveis quimicamente, que preservem as propriedades físicas e principalmente, uma apreciável emissão luminescente na região do visível. O  objetivo do projeto é dar continuidade a estudos prévios [1,2] dos processos de emissão luminescente em ligas de Si, abordando agora especificamente, materiais nanoestruturados compostos por  aglomerados de silício embebidos em matriz de SiNx. A proposta deste projeto é de produzidos filmes de SiNx ricos em silício em uma estreita faixa de composição química,  utilizando as técnicas de PECVD e magnetron sputtering. Além disso, também serão fabricadas estruturas metal-material luminescente-contato transparente  para caracterizar a eletroluminescência e compará-la com a fotoluminescência nos mesmos materiais. Este é um projeto de pesquisa de pós-doutorado com apoio FAPESP ref. 2009/02315-3.

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  1. Dissertação de Mestrado "Estudo da fotoluminescência em filmes de oxinitreto de silício ricos em silício depositados pela técnica de PECVD", EPUSP, 2003
  2. Tese de Doutorado  "Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício", EPUSP, 2009

Tags: Materiais nanoestruturados, Nitreto de silício rico em Si, PECVD, Sputtering
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