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Atualização: Sáb, 05 de Junho de 2010 às 17h04 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Microestruturas em PMMA para aplicação em MEMS e MOEMS
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Responsável: - Emerson Yasuyuki Arashiro
Coordenador: - Marcelo Nelson Páez Carreño

Nestas pesquisas é apresentado um estudo dos diversos processos empregados na fabricação de microestruturas de poli metacrilato de metila (PMMA), visando aplicações futuras em sistemas micro eletromecânicos (MEMS) e sistemas micro-opto-eletromecânicos (MOEMS). Estes processos envolveram a deposição por spin-coating, a corrosão de filmes de PMMA por plasma de oxigênio, e é proposta uma nova abordagem da técnica de Casting para a fabricação de microestruturas com cavidades internas, o micro-Casting. 
Em função disso foram fabricadas membranas corrugadas para a sua utilização como elementos ópticos difrativos.
Paralelamente aos processos de fabricação, também foi estudada a modificação superficial de filmes de PMMA também foi explorada através de sua exposição em plasmas de gases fluorados (CHF3), o que foi utilizado na fabricação de guias de onda poliméricas, onde o núcleo das guias é PMMA e um filme parcialmente fluorado depositado por plasma de gás fluorado é utilizado como camada de cobertura.
 

Tags: PMMA, elementos difrativos, microestruturas
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