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Atualização: Seg, 03 de Novembro de 2014 às 16h39 | Por: Marcelo Nelson Páez Carreño | RSS
Obtenção e propriedades de filmes de nitreto de alumínio (AlN)
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Responsável: - Rubens Martins Cunha Junior
Coordenador: - Inés Pereyra

Obtenção e Propriedades do AlN

O presente projeto de pesquisa visa a fabricação e caracterização de filmes de nitreto de alumínio (AlN) obtidos por Magnetron Sputtering reativo. O principal objetivo é estudar os efeitos dos parâmetros de deposição nas propriedades morfológicas e estruturais dos filmes de AlN visando a otimização de suas propriedades piezoelétricas. Para isto, são realizados estudos sobre os modos vibracionais pela técnica de Espectroscopia de infravermelho por transformada de Fourier (FTIR), estudos sobre as orientações cristalográficas por difração de raios X e a medição do coeficiente piezoelétrico através da técnica capacitiva.

 

 

 

Tags: AlN, Piezoelétrico
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