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Atualização: Sex, 10 de Abril de 2009 às 12h54 | Por: Alessandro Ricardo de Oliveira | RSS
Filtros Interferenciais
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Responsável: - Gustavo da Silva Pires Martins
Coordenador: - Marco Isaías Alayo Chávez

A dependência da temperatura e da voltagem em um transistor base-emissor bipolar e o efeito termo-resistivo em filmes de metal (termopares) tem sido explorados desde há muito tempo na fabricação de sensores de temperatura. Porém, a utilização de outras técnicas para o sensoriamento deste parâmetro físico estão surgindo nestes últimos tempos. Entre elas está a optoeletrônica que tem buscado uma integração cada vez maior, onde o uso da parte elétrica (corrente, tensão) é substituído pelo sensoriamento óptico dependente da temperatura, através do efeito termo-óptico (variação do índice de refração com a temperatura). Isso por que as técnicas que utilizam a variação de uma corrente ou uma voltagem não possuem as vantagens que o sensoriamento óptico pode nos brindar, como por exemplo: insensibilidade a ruídos eletromagnéticos, inexistência de curtos-circuitos, segurança em ambientes hostis, vantagens de integração e miniaturização, maior confiabilidade e baixo custo.

Baseado nisto, nós iniciamos pesquisas no desenvolvimento de sensores de temperaturas ópticas. Nesta seção será apresentada a simulação, fabricação e caracterização de filtros interferenciais ajustáveis com a temperatura empregando películas dielétricas amorfas depositadas pela técnica de deposição a vapor assistida por plasma (PECVD) sobre silício e sobre Corning Glass (7059). Os dispositivos ópticos foram construídos usando-se processos padrões de microeletrônica e consistiram em camadas periódicas com espessura e comprimentos apropriados para produzir picos da atenuação na transmitância da luz na região do visível.

Tags: filtros interferenciais, PECVD, guias de onda
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